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      碳化硅陶瓷具有優(yōu)良的力學性能、優(yōu)良的抗氧化性、高的抗磨損性以及低的摩擦系數(shù)，應用于各類平面及圓周面密封件；極強耐腐蝕性，無壓燒結碳化硅（SSiC）最耐HF酸的陶瓷；密度小、強度好，應用于各類半導體設備精密平臺、導軌。